À¯Çü 1: 8 ÀÎÄ¡ ´Ü¸é ±¤Åà ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ±âÁ¸ Çʸ§ 725um
2 ŸÀÔ: 8 ÀÎÄ¡ ´Ü¸é ±¤Åà ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ µÎ²² 1.5mm
À¯Çü 3: 1 ÀÎÄ¡ ´Ü¸é ±¤Åà ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ
À¯Çü 4: 2 ÀÎÄ¡ ´Ü¸é ±¤Åà ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ
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¼ºÀå ¸ðµå: ½ºÆ®·¹ÀÌÆ® Ç® ½Ì±Û Å©¸®½ºÅ»
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Á÷°æ ¹× ¼Ø¾¾: ¡¾ 0.4mm
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µµÇÎ À¯Çü: N Çü (ÀÎ, ºñ¼Ò, ¾ÈƼ¸ó) P Çü (ºØ¼Ò µµÇÎ)
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Å©¸®½ºÅ» ¹æÇâ: <111>/<100>/<110>
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ÀúÇ×: 0.001-50 (Ω • cm) °í°´ ¿ä±¸ »çÇ׿¡ µû¶ó »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ °¡´É
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ÇÁ·Î¼¼½º µ¥ÀÌÅÍ: Æòźµµ TIR: <3μm, warpage TTV: <10μm, °î·ü È° <10μm, °ÅÄ¥±â <0.5nm, ÀÔÀÚ Å©±â <10 (Å©±â> 0.3μm ¿ë)
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¿ëµµ: °øÁ¤¿ë µ¿±â ¹æ»ç¼± »ùÇà ij¸®¾î, ±âÆÇ¿ë PVD/CVD ÄÚÆÃ, ¸¶±×³×Æ®·Ð ½ºÆÛÅ͸µ ¼ºÀå »ùÇÃ, XRD, SEM, ¿øÀÚ·Â, Àû¿Ü¼± ºÐ±¤±â, Çü±¤ ºÐ±¤±â µî, Å×½ºÆ® ±âÆÇ, ºÐÀÚºö »óÃà ¼ºÀå ±âÆÇ, °áÁ¤ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ X-¼± ºÐ¼®.
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Å©¸®½ºÅ» ¿À¸®¿£Å×ÀÌ¼Ç <111>> 100>> 110> °í°´ ¿ä±¸ »çÇ׿¡ µû¶ó ¹è¼Û ¶Ç´Â »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ °¡´É
ÀúÇ× 0.001-20000 (Ω · cm) °í°´ ¿ä±¸ »çÇ׿¡ µû¶ó ¹è¼Û ¶Ç´Â »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ °¡´É
Æòźµµ ±³¹Ý <1μm
¼ÛÀåÀº ±â°è ¼ÛÀå Á¦°ø °¡´É
¿öÆäÀÌÁö TTV <3μm
±ÁÈû È° <5μm
°ÅÄ¥±â Ra <0.5nm
ÀÔÀÚ pewaa17 <10 (forsize>0.3μm)
Æ÷Àå ¹æ¹ý 1 °³ Æ÷Àå, 5 °³ Æ÷Àå, 10 °³ Æ÷Àå, 25 °³ Æ÷Àå ¸Å¿ì ±ú²ýÇÑ ¸ÕÁö°¡¾ø´Â ¾Ë·ç¹Ì´½ È£ÀÏ Áø°ø Æ÷Àå;
±âÁ¸ ½ºÅå µÎ²² μm ´õºí ½º·Î¿ì 200-2000μm, ´Ù¾çÇÑ µÎ²²ÀÇ 150-5000μm »çÀÌÀÇ ½Ì±Û ½º·Î¿ì ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ Á¦°ø °¡´É